Een poetsbeurt met geluidstrillingen

Nieuws | de redactie

30 mei 2011 | Ultrasoon geluid gebruiken om extreem klein materiaal te reinigen. Juweliers werken al op deze manier, maar ook in machines voor de bouw van microchips moet de mogelijkheid tot deze werkwijze worden onderzocht. Een consortium van de UvA gaat, financieel ondersteund door FOM, met deze opdracht aan de slag.

De nieuwste generatie microchips wordt gemaakt met behulp vanextreem ultraviolet licht (EUV) lithografische machines. Hetgebruik van deze nieuwe techniek zorgt ervoor dat er nog kleineredetails op de chips belicht kunnen worden, maar is tegelijkertijdzeer gevoelig voor heel kleine stof- en vuildeeltjes. Dit maakt hetwerken met EUV-machines dan ook een uiterst lastig proces.

Het consortium van de UvA gaat onder leiding vanFOM-werkgroepleider prof. dr. Mark Golden onderzoeken of hetmogelijk is om de onderdelen van de EUV-machines met ultrasoongeluid van een ‘poetsbeurt’ te voorzien. Op die manier moet dedown-time worden verkort en de servicekosten gereduceerd. Vanwegedeze concrete toepassing van wetenschap heeft FOM eenvalorisatiesubsidie van €53.000 toegezegd.

De machines die de microchips produceren worden ontwikkeld doorASML. De wereldleider in deze markt ondersteunt het project, dateen totale omvang heeft van €123.000, daarom ook met €45.000. Deoverige kosten worden gedekt door het Van der Waals ZeemanInstituut van de UvA. Prof. dr. Mark Golden laat weten blij te zijnmet de subsidie van FOM. “ASML had al haar investering toegezegd,maar het valorisatieprogramma van FOM bood ons meer financiëlespeelruimte om versneld dit voor ons out of the boxonderzoeksidee uit te kunnen zoeken.”